기가포톤, 첨단 소재 응용 위한 PLD용 엑시머 레이저 평가 개시

노형석 기자

작성일 2026-09-27 08:21

일본의 문샷 연구개발 프로그램의 일환으로, 핵융합 에너지 실현의 핵심 기술인 초전도 선재의 대량 생산 기술 확립을 위한 레이저 평가가 시작되었다고 기가포톤(Gigaphoton Inc.)이 2026년 9월 25일 밝혔다.

기가포톤은 일본 내 초전도 선재 제조업체에 L300KZ KrF 엑시머 레이저를 플라즈마 증착(PLD) 공정에 설치하고 평가에 들어갔다. 이 레이저는 일본 내각부에서 관리하는 문샷 연구개발 프로그램의 목표 10에 따라 개발되었으며, 핵융합로에 사용되는 초전도 자석의 중요 부품 소재인 고성능 희토류 바륨 구리 산화물(REBCO) 선재의 고품질·저비용 대량 생산 기술 확립을 목표로 한다.

기가포톤은 해당 프로젝트에서 PLD 공정에 사용되는 엑시머 레이저 개발을 담당하고 있다. 이번 평가에 설치된 L300KZ는 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저 기술을 응용한 고펄스 에너지 레이저로, 초전도 소재의 박막 증착에 사용된다.

PLD 공정에 사용되는 광원 중 엑시머 레이저는 높은 펄스 에너지로 고품질 박막 형성에 널리 활용된다. 기가포톤은 반도체 리소그래피 분야에서 축적된 엑시머 레이저 경험을 바탕으로 안정적인 운전과 높은 가용성을 지원하는 기술을 PLD 공정에 적용하고 있으며, 이를 통해 생산성과 장비 가용성 향상에 기여하고자 한다.

이번 설치를 계기로 실제 PLD 박막 증착 공정 환경에서 평가 단계에 진입하게 된다. 기가포톤은 프로젝트 관련 기관들과 협력하여 레이저 운전 조건과 증착 공정 간의 관계를 검증하고, 초전도 선재의 품질 향상 및 대량 생산 기술 확립에 기여할 계획이다.